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先进封装,台积电的另一把尖刀
2023年6月,苹果Apple Silicon最终一块拼图归位:新款Mac Pro换上M2 Ultra,英特尔彻底从苹果的Mac产品线消失。承当这一前史转折点的M2 Ultra,成为半导体工业重视的焦点:
这颗苹果有史以来面积*的SoC,由两颗M2 Max芯片“缝合”而成,晶体管数量直接翻倍,达到了1340亿颗——作为比照,英伟达的RTX4090敷衍了事763亿个晶体管,H100为800亿。
这块芯片背面,是一个名为UltraFusion的“缝合技能”。
当摩尔定律失效成为业界一致,制程前进的本钱指数级飙升,前进制程已不再是高功能芯片添加晶体管数量的*挑选。将两块芯片合二为一尽管听起来简略粗犷,但在苹果之前,失利的测验不在少数。
此前,简直一切的“缝合”计划,都无法处理芯片在衔接进程中发生的损耗,使得功能往往“1 1<2”。而M2 Ultra却打破了这一通途,完结了真实的1 1=2。
UltraFusion背面的功臣并不难猜,正是其时先进封装产能求过于供的台积电。
当业界还在热议英特尔修正命名缩短与台积电的间隔,又或是台积电和三星谁将首先打破2nm时,台积电却早已凭仗先进封装,走在竞争对手的前面,为灯枯油尽的摩尔定律续命。
为了完结这个1 1=2,台积电走了20年。
1、阻滞20年的间隔
2005年,随同芯片制程迈入65nm大关,台积电在全球芯片代工商场中拿下了50%的比例,死后的竞争者好像只剩下了苦苦追逐的三星,感觉大势已定的张忠谋宣告卸职CEO,退居二线,但时任台积电技能总裁蒋尚义却在考虑一个问题:
曩昔十五年,芯片制程紧跟摩尔定律的道路图,从600nm一路狂奔到了65nm。但芯片之间封装的金属间隔(Metal Pitch)却停留在110um,现已20年没有前进。
何为金属间隔——一般咱们拿到手的芯片(如CPU),其实是一个完好的芯片模组。严厉意义上的芯片,是从晶圆上切开下来的裸片(Die)。
依照传统封装的进程,需求将这些裸片放到基板(Sustrate)上,引出管脚/引线,再将其固定、封装进一个外壳中,才干应用于实践的电路中。
蒋尚义考虑的金属间隔,其实骄傲图中引线的间隔,比方CPU和内存交流数据,骄傲依托这些引线。理论上来说,引线数量越多,不同芯片间的衔接不能尽数就越高,全体功能也就越好。但因为引线是金属原料,一旦密度前进,功耗和发热也会越高。
在这个布景下,蒋尚义设想了一个斗胆的计划:与其冒险添加引线的密度,不如把两块芯片封装在一个硅片上,因为物理间隔更近,电信号传输中的推迟问题得到改进,金属原料带来的弊端也方便的解决。
从“先封在拼”转变为“先拼在封”,前者现在被归类为传统封装,后者则是近几年大热的概念——“先进封装”。
但在其时,蒋尚义的设想在技能上过于斗胆,并且缺少商业上的可行性。
所谓摩尔定律,骄傲指每隔18-24个月,芯片上可包容晶体管数量翻一番。几十年里,半导体工业遵循摩尔定律快速开展,从130nm到90nm,从65nm到40nm,似乎游戏过关相同顺畅。
关于代工厂来说,比较芯片制程带来的功能前进,重金投入先进封装带来的功能前进,实在是性价比过低。加上蒋尚义在2006年就跟从张忠谋一同退休,先进封装计划并没有付诸实施。
但到了2009年,业界上下开端霸占28nm制程,工程师们才认识到了问题的严重性:晶体管单位制作本钱不降反升,制程晋级前进功能的性价比开端下降。
换句话说,摩尔定律正在失效。
28nm->20nm->14nm,晶体管单位制作本钱上升;图源:IBS
同一时期,依托移动终端商场的盈利,三星从微乎其微的竞争者敏捷生长为台积电*的竞争对手。
金融危机期间,台湾地区的面板和内存工业被三星的反周期屠刀相继斩落马下,击垮其时雪白大幅下滑台积电并非没有可能。
2009年,张忠谋从头出山,并请回了现已退休的蒋尚义,期望后者带领台积电*于业界完结28nm制程量产,重现130nm逾越IBM的光辉,并借此要害制程,搭上移动终端的末班车。
蒋尚义的回归,使得台积电两年后以“后闸级”技能道路成功逾越三星首先量产28nm,而真实让台积电赢在了起跑线上的,是其回归时与“晶体管*”一同向张忠谋提出的“先进封装”计划。
28nm制程,是摩尔定律逝世倒计时的开端,也是台积电先进封装的起点。
2、贵重的前进
2009年,在张忠谋的首肯下,蒋尚义带着1亿美元的设备出资金和400多人的工程师团队,开端了先进封装技能的研制。但业界对台积电进军先进封装的反响却大多失望。
半导体工业分为上游规划、中游制作、下流封装,封装环节技能长时间前进缓慢,雪白被摊薄,大多走薄利多销道路,台积电作为代工厂天然人工本钱更高,在与封装厂的价格战中天然不具备优势。
别的,与相同“半路出家”研制先进封装的英特尔、三星比较,台积电的技能水平相同落后。例如其时引起重视的“扇出型晶圆级封装”,英特尔、三星排列专利数第二、三位,台积电乃至没进前十。
台积电的*先进封装技能CoWoS,骄傲在这种氛围下诞生的。
CoWoS由CoW和oS组合而来:CoW表明Chip on Wafer,指裸片在晶圆上被组装的进程,oS表明on Substrate,指在基板上被封装的进程——这也是蒋尚义在2006年提出的设想。
与其他相似的技能比较,台积电CoWoS的杰出优势体现在衔接裸片的方法:
装载裸片的晶圆被台积电称为硅中介层,在硅中介层中,台积电运用微凸块(ubmps)、从头布线(RDL)等技能,代替了传统引线键合用于裸片间衔接,大大前进了互联密度以及数据传输带宽。
但是,初生的CoWoS一度境况为难。2011年,台积电得到FPGA大厂赛灵思订单,凭仗CoWoS以及共同开发的硅通孔(TSV)等技能,成功将4个28nm FPGA芯片拼接在一同,推出了史上*的FPGA芯片。
但这也是整个2011年,台积电先进封装项目组收到的*的订单。
每个月50片晶圆的订单量,相关于烧掉几千片废片的研制投入来说,可谓无济于事,这是蒋尚义和台积电都没有想到的局势。
随后,台积电又找到了协作多年的密切战友英伟达——因为GPU核算时需求频频与内存通讯,获取和存储数据,对推迟的容忍度更低,对带宽需求也更高。
因而,英伟达是蒋尚义在开发CoWoS时就确认的方针客户之一,但没想到英伟达相同意兴阑珊。
在一次与高通高管的午饭中,蒋尚义得到了一个意料之中的答案:CoWoS太贵了。
“我只愿意为这个技能花费1美分/平方毫米。”带着这句话,蒋尚义找到余振华,得到CoWoS现在的价格在7美分/平方毫米的答复,确认了这6倍的间隔骄傲客户犹疑的原因。
如此大的本钱间隔,必然无法短时间内经过技能消弭。台积电决定给CoWoS做“减法”,开发廉价版的CoWoS技能。制作、封装经验丰富的余振华,很快交出了代替计划——InFO。
CoWoS技能之所以费钱,主要是因为硅中介层,其本质骄傲一片硅晶圆,还要在中心布线做衔接,天然本钱昂扬。而InFO把硅中介层换成了其他资料,献身了衔接密度,却换来了本钱的大幅下降。
紧接着,台积电找到了那个坐落美国西海岸,衬托靠一己之力改动供货商命运的超级甲方:苹果。
3、苹果把单买了
2009年,三星决策层拟定了一个隐秘计划,李在镕预备使用金融危机彻底打倒台湾地区的电子工业,先打面板,再打内存,最终打倒台积电,让三星彻底操纵东亚电子工业。
这个计划一度十分顺畅,到2014年,台湾地区的面板和内存岌岌可危,台积电相同摇摇欲坠——依托从台积电挖来的梁孟松,三星首先量产14nm FinFET工艺,台积电的技能优势简直一夜之间被抹平了。
技能落后最直接的冲击体现在大客户订单。有先进制程打底,三星还凭仗*PoP封装技能,将内存芯片直接堆叠在SoC上方,然后大大减小了芯片面积,赢得了苹果自研移动SoC——A系列的超级大单:
关于移动SoC来说,因为设备巨细的约束,加上大部分空间还要留给电池,对芯片的要求既有功能,还需求把芯片尽可能做小。
但是,从开端自研的A4到A9,从45nm到16nm,苹果发现,依托制程晋级缩小芯片越来越不具备性价比。三星的PoP封装计划,成为了在不晋级制程的情况下,缩小芯片面积的*解。
但与此同时,三星手机正在全球商场攻城略地,成为了苹果*的竞争对手。2013年前后,苹果一边和三星打官司,一边把芯片订单向台积电歪斜。
在此布景下,缩小芯片作用和性价比都逾越PoP封装的InFO,成为了台积电“被扶正”的起色。
2016年,搭载苹果最新A10移动SoC的iPhone 7上市,悉数由台积电代工。在CPU速度较前代iPhone 6前进两倍多、内存容量前进一倍的情况下,机身厚度控制在了7.1毫米,是历代iPhone中第二薄的。
最重要的是,以上一切成果,均是在没有晋级制程的情况下达到的。
有了苹果先行先试,曾因为价格问题迟疑不定的芯片大厂们总算放心斗胆地上了车,英伟达、AMD、谷歌,乃至竞争对手英特尔,都在自家高功能芯片上用上了CoWoS封装。
2023年,AI芯片水涨船高,英伟达GPU对CoWoS的需求从年头预估的3万片暴升至4.5万片,不得不提早加单。
但是,先进封装像潘多拉的盒子,多米诺骨牌效应才刚刚开端。半导体工业花费了几十年稳定下来的上下流分工形式,正在被缓慢松动。
4、中国大陆走到哪儿了?
长时间以来,封装测验环节都是芯片工业链的底端,因而很早就从日韩向中国大陆搬运。近十年来,封测现已成为中国大陆开展最快、现在*优势的环节。
而当晶圆制作环节因为众所周知的原因,难以向14nm以下再进一步时,先进封装的呈现,也一度被视为弯道超车的秘籍。
事实上,中国大陆的头部厂商在先进封装的开发上也并不落后。例如全球第三、中国大陆*的封测厂长电科技,现已开发了2.5D/3D封装、晶圆级封装(WLP)、堆叠封装(PoP)等先进封装技能,覆盖面可追素日月光。
全球第五、中国大陆第二的通富微电,除了把握2.5D/3D封装等技能外,还在收买了AMD两大封测厂后与其深度绑定,后者是现在先进封装的*客户之一。
但有别于传统封装,先进封装当然前进了封测环节的附加值,但相同需求上游环节的合作。简略来说,传统封装的流程是晶圆厂将制作完结的芯片交由封测厂封装,互相独立。
但先进封装需求芯片规划公司、晶圆厂和封测厂在芯片规划阶段,就开端定制和研制制作工艺,联络愈加严密。
正是因为先进封装的要害技能需求芯片规划公司推进,在芯片制作层面完结,因而代工厂先天比封测厂更有优势,也被认为是最主要的玩家。封测厂更多接受技能难度低、接近后道封装的部分。比方,台积电就将CoWoS的oS外包给了日月光。
中国大陆封测厂的弱势在于,因为工艺制程落后,代工厂自身就没有多少先进封装的订单,芯片规划公司供给的订单就更少了。
台积电的先进封装工艺拔地而起,是因为有苹果这个超级甲方的存在。理论上来说,海思衬托扮演这个人物,但在海思因制裁而无法做先进芯片规划后,缺少了要害的推进者,中国大陆先进封装一度开展困难。
这就导致先进封装风口已现,但承当了全球封测近20%产能的中国大陆,却迟迟等不来指引航向的掌舵者。始于2018年制裁,对半导体工业的影响,或许比预期中的还要深远。